Text

Deposisi Lapisan Tipis Titanium Dioksida (TiO2) Menggunakan Metode DC-Sputtering Dengan Variasi Waktu Deposisi: Studi Mikrostruktur Dan Kekerasan Lapisan

---

Material Stainless steel 316L telah banyak digunakan sebagai implan
ortopedi untuk menggantikan jaringan atau organ tubuh manusia, namun material
tersebut mempunyai nilai kekerasan dan ketahanan aus yang kurang baik untuk
golongan material medis. Sebuah lapisan tipis titanium dioksida yang mempunyai
biokompabilitas tinggi dapat meningkatkan nilai kekerasan dan ketahanan aus
stainless steel 316L. Deposisi lapisan titanium dioksida dilakukan menggunakan
metode DC-Sputtering dengan variasi lama waktu deposisi 30, 60, 90, 120 dan
150 menit. Penelitian ini bertujuan untuk menumbuhkan lapisan TiO2 pada
permukaan stainless steel 316L dengan variasi waktu tertentu untuk mengetahui
karakterisasi mikrostruktur, kekerasan, dan sifat lapisan terhadap sudut kontak air.
Struktur kristal titanium dioksida diidentifikasi menggunakan X-Ray Diffraction
(XRD) yang berkaitan dengan bidang (133), (133), (220), (133) dan (133) yang
diketahui mempunyai struktur TiO2-monoklinik, sementara ukuran kristalit secara
berturut-turut adalah sebesar ~14,34318 nm, ~17,09422 nm, ~18,94568 nm,
~14,04389 nm, dan ~7,90887 nm. Sementara Nilai kekerasan diperoleh dari Uji
Vickers Hardness, dari hasil penguji tersebut, lapisan TiO2 dapat meningkatkan
nilai kekerasan dari kekerasan substrat Stainless steel 316L, dengan nilai
kekerasan maksimum 170,105 VHN di lama waktu deposisi 90 menit. Dan hasil
dari uji sudut kontak dapat diketahui bahwa lapisan TiO2 bersifat hidrofilik.
Kata kunci : Titanium dioksida, DC-Sputtering, Stainless steel 316L.

---

Ketersediaan — Fakultas Sains dan Matematika

Informasi Detail

Judul Seri

FISIKA

No. Panggil

1547 D 21-iv

Penerbit

: ., 2021

Deskripsi Fisik

-

Bahasa

Indonesia

ISBN/ISSN

-

Klasifikasi

NONE

Tipe Isi

-

Tipe Media

-

Tipe Pembawa

-

Edisi

-

Subjek

-

Info Detail Spesifik

-

Pernyataan Tanggungjawab

Uli Aprilia Mukaromah

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar

---

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar